物化所现有大中型仪器设备、计算集群等90余套。主要包括：

●超高真空变温扫描探针显微镜、低温强磁场扫描隧道显微镜、超高真空低温磁场扫描隧道显微镜、常规扫描探针显微镜5套

●透射电子显微镜、冷场发射扫描电子显微镜、荧光显微镜、X射线衍射仪

●电学测试系统3套、静电分析仪、电化学工作站7套

●钛宝石飞秒激光器

●动态激光散射仪、微区拉曼光谱仪、红外光谱仪、紫外-可见-近红外光谱仪、荧光光谱仪、多功能圆二色光谱仪

●冷冻蚀刻机、蘸笔纳米刻蚀机、等离子刻蚀机3套

●化学气相沉积系统25套、超高真空电子束沉积系统1套

●分析型超速离心机

●生物分子相互作用分析仪

●真空镀膜机5套

●高性能集群计算机系统1套